Product Information Tool 5.1

BD

BD95 Series

Data sheet

Drawing

max. Resolution:

4,3 nm; 8,6 nm; 17,2 nm; 34,5 nm

Response speed:

60 mm/s; 120 mm/s; 275 mm/s; 400 mm/s

Output signal:

A/B quadrature

Special:

DC offset, gain, phase automatic compensation

Discontinued:

 

Advice:

 

Laserscale

Extension Cable

Interpolator

Output signal
BS78 CK-T61/24/54 A/B quadrature
BD95
BS65

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